【资料图】
1、 蒸发合金工艺(evaporated alloying technology)是用真空蒸发方法在半导体晶片上蒸发一层合金材料,然后加热,使合金材料与晶片形成合金而制成PN结。
2、这种工艺可以较精确地控制合金深度和合金面积,而且也可改善合金的机械性能。
3、用蒸发合金工艺可制作高频晶体管,这种工艺已广泛用于锗器件的生产中。
4、。
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1、 蒸发合金工艺(evaporated alloying technology)是用真空蒸发方法在半导体晶片上蒸发一层合金材料,然后加热,使合金材料与晶片形成合金而制成PN结。
2、这种工艺可以较精确地控制合金深度和合金面积,而且也可改善合金的机械性能。
3、用蒸发合金工艺可制作高频晶体管,这种工艺已广泛用于锗器件的生产中。
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